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2X型旋片式真空泵的原理

日期:2021-11-20 16:26:56 人气:122

旋片式真空泵泵原理图,转子37与高真空室外1及低真空室6相切,转子37沿箭头方向旋转,带动转子槽内滑动的转片旋转,由于弹簧9及离心力的作用, 转片外端紧贴高低真空室的内表面滑动,把转子与高低真空室所形成的月洼形空间从进气嘴2到排气阀门5和从过气管4到排气阀门10之间分隔开来,形成二或三个容积,并且周期性的大小变化,当在图示旋片式真空泵位置继续旋转时AC容积逐渐增大,被抽容积气体没进气嘴进入泵内,同时BD容积逐渐减少,压力升高,随后冲开排气阀门510,将气体排出真空室外,气体经过油面而排于大气之中,因为油是淹住排气门的,故能防止气体返回真空室。当抽气压强较高时,高低真空室的阀门都排气,相当于单级泵,当真空度较高时,全部气体进入真空室,再由排气阀门10排出,此时二级串联即进入双级泵工作。